Вакуумные датчики Пирани предназначены для работы в диапазоне давлений от атмосферного до 1×10⁻⁴ Торр.
Принцип работы основан на измерении сопротивления при передаче тепла от катода, который нагревается проходящим через него электрическим током, к окружающему газу.
Форвакуумный терморезисторный датчик (Пирани)
Широкодиапазонные датчики измеряют давление в диапазоне от атмосферного до 1Е-9 Торр. Датчик представляет собой заключенные в одном корпусе инверсно-магнетронный преобразователь давления и преобразователь Пирани. Такая конструкция позволяет экономить пространство и требует только один фланец для его подключения к вакуумной системе.
Комбинированный широкодиапазонный датчик
Ионизационные датчики работают в диапазоне давлений от 1×10⁻⁴ Торр до 1Е-13 Торр. Накаленный катод эмитирует электроны, которые ускоряются в электростатическом поле сетки и ионизируют газ. Полученные ионы попадают на коллектор ионов и создают ток, измеряя который можно получить информацию о давлении в вакуумной камере.
Ионизационный датчик Байард Альперта
Емкостные датчики работают в области форвакуума и среднего вакуума.
Принцип измерения основан на измерении емкости конденсатора, одна из обкладок которого непосредственно контактирует с вакуумом, и деформируясь при изменении давления изменяет емкость конденсатора.
Форвакуумные емкостные датчики